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氣動高真空球閥閥門漏率：≤1.3×10-4Pa.L/S. 適用溫度：-30～+150℃ -30～+150℃(PPL密封) 氣源壓力：0.4～0.6MPa

手動真空球閥閥門漏率：≤1.3×10-4Pa.L/S.
適用溫度：-30～+150℃
-30～+150℃(PPL密封)

電動真空球閥閥門漏率：≤1.3×10-4Pa.L/S.
適用溫度：-30～+150℃ -30～+150℃(PPL密封)
關閉時間：≤30S